原子力显微镜/AFM（SHIMADZU SPM -9700）

应用范围：反应样品表面三维形貌和局部物理特性，表征样品表面的高度差、粗糙度及粘弹性等。

成像模式：接触模式、动态模式、相位模式、水平力模式（LFM）、力调制模式

分辨率：水平 0.2 nm，垂直0.01nm

最大扫描范围：30μm×30μm×5μm　

样品要求：样品直径≤24 mm，表面高度差≤5 μm